目前制備電力鍋爐補給水系統超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面：　

1、第一種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞性。

2、第二種采用兩級反滲透設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但無須樹脂再生。其缺點在于相關膜原件需定期清洗或更換，水質相對來說不是太高，大都只能做到1us/cm左右。　

3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水最經濟，最環保的超純水制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。　

高壓鍋爐補給水處理設備，適用于熱電廠及大中型工礦企業鍋爐補給水的處理 。采用世界上最先進的反滲透膜元件，壓力容器等設備，配以合理而又有前處理和后處理設備，能生產符合國家或行業鍋爐給水標準(GB1576-79、DL/T561-95) 超純水。在膜處理系統中，用做前處理的超濾一般使用直徑1mm的中空纖維，以脫除原水中的懸浮物及膠體，UF用作前處理的最大問題是膜污染及膜孔堵塞，為此常在前面設置預過濾器，以去除大粒徑懸浮物，在預過濾前加絮凝劑，如PAC(聚丙稀酸)可提高過濾水質，并降低膜阻力。對電廠鍋爐補給水系統 要求的溶氧量一般要求為0.3 mg/L以下,為此脫氣膜應該在低于5.33Kpa(40TORR)的真空度下操作。控制系統采用工控機程控控制，可實現自動起停，加藥及沖洗，自動監測各種運行參數，以便生產管理。